한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.255-256
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
반도체 bump 측정을 위한 고속 백색광 위상 간섭계 개발
Development of high speed white light interferometric Microscope for bump of semiconductor
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Ko, Kuk-Won
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- Kim, Jae-Hawn ;
- Seo, Sang-Jun (NCB Networks)
- 발행 : 2010.11.11