몰드형상에 따른 나노임프린트 점탄성 유한요소해석

Viscoelastic Finite Element Analysis of Nanoimprint Lithography According to Mold Shape

  • 전상범 (순천향대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 김국원 (순천향대학교 기계공학과) ;
  • 김남웅 (동양미래대학 기계공학과)
  • 발행 : 2010.11.11