유정압 베어링 이용 초정밀 가공기의 나노미터 영역 제어에 관한 연구

High Precision Control of Hydrostatic Bearing Machine Tool

  • 심종엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 송창규 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 초정밀기계시스템 연구실)
  • 발행 : 2010.11.11