한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.381-382
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
초소형 MEMS 마이크로폰의 설계 및 공정 기술
Design and Fabrication of Miniature MEMS microphone
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허신
(한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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- 이영화 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부) ;
- 최홍수 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부) ;
- 박준식 (한국기계연구원 나노융합생산시스템연구본부)
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Hur, S.
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- Lee, Y.H. ;
- Choi, H.S. ;
- Park, J.S.
- 발행 : 2010.11.11