나노급 위치결정기구의 변형율 예측과 거동특성

Evaluation of driving characteristics and strain for Nano-Postioning Mechanism

  • 곽남수 (조선대학교 첨단부품소재공학과) ;
  • 김재열 (조선대학교 메카트로닉스공학과) ;
  • 박대광 (조선대학교 첨단부품소재공학과) ;
  • 이건 (조선대학교 첨단부품소재공학과)
  • 발행 : 2010.11.11