한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

나노임프린트용 스탬프의 SAM 수명주기 향상 연구

A Study on SAM Lifetime Improvement of Stamp for Nanoimprint

  • 이문재 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 오지인 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 조천수 (부산대학교 지능기계시스템공학과)
  • 발행 : 2010.11.11
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