한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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Pages.405-406
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2010
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

AFM 기반의 Pulse 전기 화학 가공을 응용한 실리콘 표면의 국부적 산화 및 화학적 특성

Localized Silicon Surface Oxidation Using Pulsed Electrochemical Processes based on AFM

이정민 (조선대학교 기계설계공학과) ;
박정우 (조선대학교 기계설계공학과) ;
김선호 (조선대학교 기계설계공학과)

발행 : 2010.11.11

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