한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Multi-Points Method를 이용한 스테이지의 5 자유도 운동오차 측정 방법

5 DOF Stage Motion Error Measurement Using Multi-Points Method

  • 김규하 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 이선규 (광주과학기술원 기전공학과)
  • 발행 : 2010.11.11
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