한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

2,500 l/s 급 복합분자펌프를 위한 자기부상계 구동특성

Dynamic Characteristics of Magnetic Bearing System for A Compound Turbomolecular Vacuum Pump

  • 노승국 (한국기계연구원 초정밀기계시스템실) ;
  • 신우철 (한국기계연구원 초정밀기계시스템실) ;
  • 박용태 (제일진공(주))
  • 발행 : 2010.11.11
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