태양전지 실리콘 웨이퍼의 결함 검출을 위한 레일리기준 기반 레이저산란 패턴 분석 및 고찰

Based on Rayleigh's Criterion Laser Scattering Pattern Analysis and Discussion for Defect Detection in Silicon Wafer of Solar Cell

  • 연정승 (국립 충주대학교 산업대학원) ;
  • 김경범 (국립 충주대학교 항공.기계설계학과)
  • 발행 : 2010.11.11