압전 구동 틸팅미러 구조설계에 관한 연구

A Study on Structure Design of Piezoelectric-driven Tilting Mirror

  • 박중호 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부) ;
  • 이후승 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부) ;
  • 함영복 (한국기계연구원 그린환경에너지기계연구본부)
  • 발행 : 2010.11.11