한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.851-852
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
PEALD를 이용한 Ruthenium Barrier Layer 특성에 관한 연구
A Study on the Characteristic Ruthenium Barrier Layer using PEALD
- 이영균 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
- 신운기 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
- 정문기 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
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이호준
(부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템)
;
- 과용창 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
- 최성하 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
- 정호빈 (부산대학교 기계공학부 정밀가공시스템) ;
-
이현섭
(부산대학교 정밀정형 및 금형가공센터)
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정해도
(부산대학교 기계공학부)
- Lee, Y.K. ;
- Shin, W.K. ;
- Jeong, M.K. ;
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Lee, H.J.
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- Guo, Y.C. ;
- Choi, S.H. ;
- Jeong, H.B. ;
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Lee, H.S.
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Jeong, H.D.
- 발행 : 2010.11.11