한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2011.11a
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- Pages.61.2-61.2
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- 2011
Effect of Ar Flow Ratio on the Characteristics of Al-Doped ZnO Grown by RF Magnetron Sputtering
마그네트론 스퍼터를 이용한 Ar 가스 유량 조절에 따른 AZO의 특성 변화
- Published : 2011.11.16
Abstract
본 연구에서는 박막 태양전지용 투명전극으로 사용하기 위해서 Gun-type RF 마그네트론 스퍼트링을 이용하였다. 챔퍼안의 타겟은 AZO타겟(Zn: 98[wt.%], Al:2[wt.%]을 장착하였고 공정압력은 고진공을 유지하였다. 온도는