Study on the Electroforming of Fe alloy using UV-LIGA

마이크로부품 및 금형 제조를 위한 Fe계 합금전주도금에 관한 연구

  • 손성호 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 박성철 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 이홍기 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 김현종 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 이호년 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 이민형 (한국생산기술연구원 열.표면기술센터) ;
  • 이원식 (한국생산기술연구원 융합신공정연구그룹)
  • Published : 2011.05.19

Abstract

본 연구에서는 Fe계 합금전주도금 미세부품 및 금형 제조에 사용되는 전주용 Fe계 합금도금 기술을 개발을 위해 Fe-Ni 및 Fe-Ni-W 합금 전기도금에 대한 속도론적 고찰을 통해 Fe-Ni 합금도금층 내의 Fe과 Ni, Fe-Ni-W 합금 도금층 내의 Fe, Ni, W 성분 함유량에 대한 각각의 공정 제어인자를 규명하였다. Fe-Ni합금과 Fe-Ni-W합금도금층 구현에 있어 합금도금액의 합성, 최적 전류밀도 범위 도출, 합금도금층의 표면거칠기 및 경도 확보를 위한 공정조건 확립 등을 수행하였고, 전주(electroforming)를 이용하여 마이크로 기어 및 금형을 제조하였다.

Keywords