Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study on Properties of Hydrogenated a-C and a-CN thin films Prepared by Plasma Chemical Vapor Deposition

PCVD법에 의한 a-C:H 및 a-CN:H 박막의 특성 평가에 관한 연구

  • 김대욱 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
  • 이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
  • 박종원 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ;
  • 박광수 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소)
  • Published : 2011.05.19
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Abstract

비정질 탄소계 박막은 높은 경도, 내마모성, 내화학성 및 전기저항특성을 갖는 박막으로 다양한 산업분야에 응용 및 적용 연구가 진행되고 있다. 특히, 탄소계 박막은 자동차 및 기계 산업분야에 있어서 우수한 물리적 특성인 고경도 및 저마찰 특성을 이용한 금속 표면의 기능성 부여를 목적으로 활발하게 연구가 이루어지고 있다. 본 연구는 사출금형 표면의 고경도 저마찰화를 목적으로 비정질 탄소계 박막을 사출금형 소재 (KP4)에 제작하고, 이들 코팅막에 대한 경도, 밀착력, 마찰계수 등의 물리적 특성을 평가하였다. 또한, 탄소계 코팅막 제작 공정 조건이 코팅막의 물리적 특성에 미치는 영향에 대하여 고찰하였다.

Keywords