Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Application of Conical Type Sputtering System for Uniform coating of Ti on the dimensions-Dental Prosthesis

3차원 치과 보철물 위에 Ti 균일 코팅을 위한 Conical Type Sputtering 시스템 적용

  • 김민회 (영남 이공대학 전기과) ;
  • 백원식 (영남 이공대학 전기과) ;
  • 이성헌 (영남대학교 신소재공학부) ;
  • 김규호 (영남대학교 신소재공학부)
  • Published : 2011.05.19
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Abstract

conical type의 sputtering 시스템으로 3차원 치과 보철물 위에 균일한 Ti 박막의 증착을 시도하였으며, 증착 변수에 따른 Ti 박막의 특성을 조사하였다.

Keywords