Effect of buffer layer on GZO/ITO multi-layered transparent conductive oxide films for solar cells

태양전지 투명전극용 GZO/ITO 박막의 물성에 대한 버퍼 층의 영향

태양전지용 TCO로 사용되는 ITO 박막의 고온에서의 전기적 특성을 향상시키기 위하여 고온 안정성을 가지는 GZO/ITO 박막을 증착 하였다. GZO/ITO 박막의 특성은 버퍼 층인 ITO의 두께 및 구조에 의해 영향을 받는 것을 알 수 있었다.