Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2012.02a
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- Pages.236-236
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- 2012
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
- Min, Gwan-Sik ;
- Cha, Deok-Jun ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Gang, Sang-U ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Yun, Seok-Rae ;
- Park, Won-Yeong ;
- Lee, Gyu-Chan ;
- Kim, Jin-Tae
- 민관식 (한국표준과학연구원) ;
- 차덕준 (군산대학교 물리학과) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원) ;
- 윤석래 ((주)이엘) ;
- 박원영 ((주)이엘) ;
- 이규찬 ((주)이엘) ;
- 김진태 (한국표준과학연구원)
- Published : 2012.02.08
Abstract
QMS(Quadruple Mass Spectrometer)를 사용하여 혼합 기체의 조성비를 측정하는 기술로 He,