대면적 전자빔 공정시 가공 변수에 따른 온도 분포 연구

Study on the temperature distribution with varying polishing condition for the large electron beam process

  • 김지수 (울산과학기술대학교 기계신소재공학부) ;
  • 기형선 (울산과학기술대학교 기계신소재공학부) ;
  • 박형욱 (울산과학기술대학교 기계신소재공학부)
  • 발행 : 2012.10.24