한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

다면 가공용 이온 밀링 장치에서 인출 효율 증대를 위한 건 구조 개선

A design of Ion-miller for improving the ecciciency of ion extraction

  • 원종한 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 박만진 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 강원구 (한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 MSDE 프로그램)
  • 발행 : 2012.10.24
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과제정보

연구 과제번호 : 정밀 기계 가공용 고밀도 전자 빔의 고속 청정 Finishing 공정기술개발

연구 과제 주관 기관 : 지식경제부