Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.10a
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Pages.323-324
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Shape error and its compensation in photoresist thermal reflow method used for the fabrication of microlens array mold

마이크로렌즈 어레이용 몰드 제작을 위한 Photoresist thermal reflow법에서 발생하는 형상 관련 오차 및 이에 대한 보정

Kim, S.H. ;
Cho, Y.H. ;
Kim, S.M. (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Texas A&M University) ;
Lee, J.H.

김신형 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) ;
조영학 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) ;
김성만 ;
이준형 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과)

Published : 2012.10.24

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