Wafer Level Build-Up Stacking Process using Molten Metal Filling for Multi-Chip Packaging

용융 금속을 이용한 웨이퍼 레벨 Build-up 스택 공정 기술

  • 권영설 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 이재학 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 송준엽 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
  • 김형준 (한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
  • Published : 2012.10.24