한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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Pages.621-622
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2012
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

멀티 와이어쏘 머신 가공 시 힘 변화에 따른 웨이퍼 특성

The surface characteristics of wafer according to variation of force in processing of multi-wire saw machine

김철민 (한국생산기술연구원 융합부품소재연구그룹) ;
김성렬 (한국생산기술연구원 융합부품소재연구그룹) ;
김도연 (한국생산기술연구원 융합부품소재연구그룹) ;
김형재 (한국생산기술연구원 융합부품소재연구그룹)

발행 : 2012.10.24

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