Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
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Pages.459-460
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2012
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study on the improvement of defective products with changing conditions of safety idle in ILD HDP processes

반도체 공정중 ILD HDP 공정 safety idle 조건개선으로 정체에 의한 불량 개선 연구

윤성훈 (삼성전자 공과대학교 반도체공학과) ;
김충환 (삼성전자(주)) ;
김형준 (삼성전자(주)) ;
김정태 (삼성전자(주)) ;
김은성 (삼성전자(주))

Published : 2012.05.30

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Abstract

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