Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study of microstructure and physical properties of low density carbon films synthesized by magnetron sputtering

마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰

  • 김성일 (성균관대학교, 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • 심병철 (성균관대학교, 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • 최윤석 (성균관대학교, 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • 최인식 (성균관대학교, 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소) ;
  • 한전건 (성균관대학교, 신소재공학부, 플라즈마 나노 신소재 연구소)
  • Published : 2012.05.31
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Abstract

수소가 포함 되지 않은 저밀도 구조의 카본 박막을 마그네트론 스퍼터링으로 합성하였다. 본 실험을 통하여 플라즈마 변수에 따른 저밀도 구조의 카본 박막의 미세 구조와 물리적 특성과의 상관관계를 FESEM, AFM, 4-point probe의 분석 기구를 통하여 분석 하였고, 비정질 저밀도 구조의 탄소 박막에 Pt을 ion sputtering을 통하여 도핑 한 결과 1000에서 $0.0013{\Omega}cm$ 까지 전기 비저항을 낮추는 결과를 얻었다.

Keywords