한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.153-154
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

MEMS 기반의 스마트 4단자 탐침 개발

Development of MEMS based smart 4-point probe

김지관 (전남대학교 기계공학과) ;
이동원 (전남대학교 기계공학과)

Kim, J.K. ;
Lee, D.W.

발행 : 2013.05.29

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초록

키워드

MEMS;
4-point probe;