한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.179-180
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2013
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

Physical Cleaning Process 기술 최적화를 통한 PRE(Particle Removal Efficiency) 및 Pattern Damage 개선에 관한 연구

A Study on the Improvement of PRE and Pattern Damage by Optimization of Physical Cleaning Technology

배인광 (삼성전자 공과대학교 반도체 공학부) ;
홍진석 (삼성전자) ;
백재직 (삼성전자) ;
김종규 (삼성전자)

발행 : 2013.05.29

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