Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2013.05a
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- Pages.595-596
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
Study on the Beam Extraction Characteristics of the ICP Ion Source for Focused Ion Beam Devices with Higher Yield
고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구
- Published : 2013.05.29