한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.641-642
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
Color Filter 노광기 Pattern Overlap 예방을 위한 Slit Size 최적화
Slit Sizes In The Optical System To Prevent Overlpa In The Color Filter Aligner
- 발행 : 2013.05.29