한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.741-742
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션
Dynamics and Control Simulation for Development of High Precision Stage
- 발행 : 2013.05.29