한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.771-772
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- 2013
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- 2005-8446(pISSN)
카메라와 변위 센서를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법
Stage Calibration Method using camera and displacement sensor
- Wei, C.H. ;
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Jeong, J.I.
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- Jeong, J.K. ;
- Shin, S.H. ;
- Kim, C.H. ;
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Lee, D.H.
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- Yun, I.J.
- 발행 : 2013.05.29