집속 전자 빔 장치를 활용한 금속 샘플의 표면 거칠기 측정 방안에 관한 연구

Study on Methodologies for Surface Roughness Measurement using Electron Beam

  • 김승재 ((재)한국전자기계융합기술원) ;
  • 장동영 (서울과학기술대학교 글로벌융합산업공학과) ;
  • 박만진 ((재)한국전자기계융합기술원) ;
  • 강원구 ((재)한국전자기계융합기술원)
  • 발행 : 2013.05.29