한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

관통전극 표준인증물질의 설계 및 제작

Design and Fabrication of Certified Reference Material for Through Silicon Vias

  • 맹새롬 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 진종한 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 김재완 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 김종안 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터) ;
  • 강주식 (한국표준과학연구원(KRISS) 기반표준본부 길이센터)
  • 발행 : 2013.05.29
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