Analysis of Subthreshold Current Deviation for Channel Dimension of Double Gate MOSFET

이중게이트 MOSFET의 채널크기 변화 따른 문턱전압이하 전류 변화 분석

This paper analyzed the change of subthreshold current for channel dimension of double gate(DG) MOSFET. The nano-structured DGMOSFET to reduce the short channel effect had to be preciously analyze. Poisson's equation had been used to analyze the potential distribution in channel, and Gaussian function had been used as carrier distribution. The subthreshold current had been analyzed for device parameters such as channel dimension, and projected range and standard projected deviation of Gaussian function. Since this potential model was verified in the previous papers, we used this model to analyze the subthreshold current. Resultly, we know the subthreshold current was influenced on parameters of Gaussian function and channel dimension for DGMOSFET.

본 연구에서는 이중게이트 MOSFET의 채널크기 변화에 따른 문턱전압이하 전류의 변화를 분석하였다. 이를 위하여 단채널 효과를 감소시킬 수 있는 나노소자인 이중게이트 MOSFET에 대한 정확한 해석학적 분석이 요구되고 있다. 채널 내 전위분포를 구하기 위하여 포아송방정식을 이용하였으며 이때 전하분포함수에 대하여 가우시안 함수를 사용하였다. 가우시안 함수의 변수인 이온 주입범위 및 분포편차 그리고 채널크기 등에 대하여 문턱전압이하 전류 특성의 변화를 관찰하였다. 본 연구의 모델에 대한 타당성은 이미 기존에 발표된 논문에서 입증하였으며 본 연구에서는 이 모델을 이용하여 문턱전압이하 전류 특성을 분석할 것이다. 분석결과, 문턱전압이하 전류는 채널크기 및 가우시안 분포함수의 변수 등에 크게 영향을 받는 것을 관찰할 수 있었다.