Measuring Allowable Vibration of Vibration-Sensitive Equipment

정밀 장비의 진동 허용치 측정 방법

정밀 장비의 진동 허용치는 장비의 성능을 저하시키지 않는 외부 진동의 허용 범위를 의미하는 것으로 BBN 기준, NIST 기준 등이 있다. 반도체 및 디스플레이 산업 현장에서 주로 적용되는 BBN 기준을 평가하기 위해 측정시 측정자에 따라 상이한 결과가 발생하기도 한다. 이는 계측기의 설정 및 분석 방법 등 측정 방법의 차이에서 기인하는 것으로 관련된 측정 방법에 대한 가이드가 없기 때문인 것으로 보인다. 본 논문에서는 BBN 기준 평가를 위해 정밀 장비의 진동 허용치를 측정시 분석 방법, 평균화 방법 및 등급 판정 방법에 대한 가이드를 제안한다.