Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The mass analysis poor performance and cleaning due to contamination of QMS

QMS의 오염에 의한 질량 분석 성능저하와 세정

  • 김동훈 (군산대학교 플라즈마융합공학 대학원) ;
  • 유영군 (군산대학교 신소재공학과) ;
  • 김성봉 (국가핵융합연구소) ;
  • 주정훈 (군산대학교 플라즈마융합공학 대학원)
  • Published : 2014.11.20
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Abstract

반도체, 디스플레이 산업 등의 진공공정이 사용되면서 공정 중에 내부기체 종류와 양을 정확한 측정하기 위해서 QMS (Quadrupole Mass Spectrometer)가 사용되고 있다. 이온전류 변화로 공정분석을 진행하므로 필라멘트로 인한 오염과 이온소스의 오염은 치명적으로 작용한다.

Keywords