A Study on the Realtime Monitoring System of the WAFER PROCESS

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

  • Kim, Hyo-Nam (Dept. of Computer Game, ChungKang College of Culture Industries)
  • 김효남 (청강문화산업대학교 게임전공)
  • Published : 2015.01.22

Abstract

반도체 제조 및 FPD제조 공정 중 WAFER 및 GLASS 제품의 상태를 직접적으로 관리하는 기술로서 기존에 널리 사용하고 있는 방법은 CHAMBER의 온도나 상태 등의 설비 컨디션 상태를 관리 모니터링 하는 것이다. 반도체 제조의 공정비용을 최소화하기 위하여 기존 방법과 달리 WAFER 및 GLASS의 온도 상태 등을 직접적으로 모니터링 하는 시스템으로 반도체 FPD제조 공정 중 장비의 개별 특성에 따라 제품의 공정 편차로 인해 발생되는 공정불량을 실시간으로 모니터링함으로서 불량을 최소화 할 수 있는 시스템을 제안한다.