Investigation of electrochromism thin films deposited by RF magnetron sputtering

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

  • 조상현 (대구 테크노파크 나노융합실용화센터 나노융합개발팀) ;
  • 이재근 (대구 테크노파크 나노융합실용화센터 나노융합개발팀) ;
  • 이성호 (대구 테크노파크 나노융합실용화센터 나노융합개발팀)
  • Published : 2015.05.07

Abstract

전기변색 (electrochromism) 박막은 전기화학적 산화, 환원 과정을 통해 가역적인 광학 특성의 변화를 갖는 현상을 말하며, 이를 이용한 전기변색 소자(electrochromic device)는 전력 소모가 적고 변색 효율이 크다는 장점으로 인해 Smart window, display, mirror 등에 응용 될 수 있다. 본 연구에서는 대표적인 전기 변색 물질인 WxOy, NixOy 전기 변색 재료의 Sputtering법으로 증착한 박막의 특성에 대하여 평가하였다.

Keywords