Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A study of organosilicon molecules dissociation in the plasma

유기실리콘분자의 해리과정에 관한 연구

  • 윤용섭 (한국해양대학교 기관시스템공학부) ;
  • 강준 (한국해양대학교 기관공학부) ;
  • 이명훈 (한국해양대학교 기관공학부)
  • Published : 2015.05.07
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Abstract

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