Studies on orientation and phase analyses of macro to nano structure using EM

전자현미경을 이용한 마이크로에서 나노크기 구조의 결정방위 및 상분석

  • 원종한 (한국기초과학지원연구원, 나노표면연구팀) ;
  • 윤형중 (한국기초과학지원연구원, 나노표면연구팀) ;
  • 송찬근 (한국기초과학지원연구원, 나노표면연구팀)
  • Published : 2015.11.26

Abstract

한국기초과학지원연구원(KBSI)에 설치되어 있는 SEM-EBSD 및 TKD와 NanoMEGAS 사의 TEM-ASTAR를 이용하여 마이크로미터에서 나노미터까지의 결정립방위와 상분석에 대한 연구를 수행하고 분석함으로써 제조공정에서의 오류 및 최적화된 공정조건을 제공한다.

Keywords