Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

The Study of Nano-Mechanical Properties of TiAlSiN Coating Layer with Nitrogen Content

질소 함량에 따른 TiAlSiN 코팅층의 나노 기계적 특성 평가

  • 강보경 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 최용 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 백열 (단국대학교 신소재공학과)
  • Published : 2015.11.26
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Abstract

나노압침방법을 적용하여 arc ion plating을 통해 제조된 TiAlSiN 코팅층의 질소 함량에 따른 나노 기계적 특성을 평가하였다. 코팅층의 질소 함량은 28~30 [at.%] 이었다. 코팅층에는 AlN, TiSi, $Al_5Ti_3$, $Ti_3AlN$, $Al_5Ti_2$ 상이 형성되었다. 질소 함량이 더 작은 코팅층의 나노경도, 마찰계수, 피로한계의 값이 높아짐을 알 수 있었다.

Keywords