한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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- 2015
ICP system에서 공정가스와 압력에 따른 z축 방향의 이온포화 전류밀도 변화 분석
Analysis of z-axis direction of the ion saturation current to the pressure of the process gas in the ICP system
- 발행 : 2015.11.26