Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2015.11a
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- Pages.294-294
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- 2015
Medium frequency current sputtered face target aluminum zinc oxide transparent conductive film
대향타겟 스퍼터링법으로 증착한 AZO 투명전도성 필름
- Published : 2015.11.26
Abstract
대향타겟식 스퍼터링법을 이용해 유연한 기판에 증착시켜 고주파 마그네트론 스퍼터링보다 덜 손상이 입히도록 증착 시켰으며, 플라즈마 주파수를 다양하게 하여 밴딩테스트 후 나빠지는 전기적, 광학적 특성을 개선하고, 그 원인을 분석하였다.
Keywords