한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

대향타겟 스퍼터링법으로 증착한 AZO 투명전도성 필름

Medium frequency current sputtered face target aluminum zinc oxide transparent conductive film

  • 장혜영 (한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부) ;
  • 최인규 (한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부) ;
  • 김상호 (한국기술교육대학교 에너지 신소재 화학공학부)
  • 발행 : 2015.11.26
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초록

대향타겟식 스퍼터링법을 이용해 유연한 기판에 증착시켜 고주파 마그네트론 스퍼터링보다 덜 손상이 입히도록 증착 시켰으며, 플라즈마 주파수를 다양하게 하여 밴딩테스트 후 나빠지는 전기적, 광학적 특성을 개선하고, 그 원인을 분석하였다.

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