한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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- 2015
SF6/O2 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구
Study on SF6/O2 Plasmas for Copper Surface Characteristics
초록
본 연구에서는 디스플레이 패널 식각에 있어서 전극인 구리 박막 표면에
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