도핑효과에 의한 L-shaped 터널링 전계효과 트랜지스터의 영향에 대한 연구

Investigation on the Doping Effects on L-shaped Tunneling Field Effect transistors(L-shaped TFETs)

2차원 TCAD 시뮬레이션을 이용하여 L-shaped 터널링 전계효과 트랜지스터(Tunnel Field-Effect Transistor; TFET)의 도핑농도에 따른 효과를 조사했다. 소스 도핑이 $10^{20}cm^{-3}$ 이상에서 subthreshold swing (SS)이 가장 낮고, 드레인 도핑농도는 $10^{18}cm^{-3}$이하로 하는 것이 음전압에 생기는 누설전류를 막을 수 있다.

The effect of channel doping on L-shaped Tunneling Field-Effect Transistors (TFETs) have been investigated by 2D TCAD simulation. When the source doping is over $10^{20}cm^{-3}$, the subthreshold swing (SS) is abruptly decreased, and when drain doping concentration is below $10^{18}cm^{-3}$, the leakage current in the negative voltage is reduced.