Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

박막 태양전지 응용을 위하여 유리 습식 식각을 이용하여 Multi-Scale Architecture의 haze 효과

  • Oh, Donghyun (Department of Energy System, Sungkyunkwan University) ;
  • Jeon, Minhan (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Kang, Jiwoon (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Shim, Gyeongbae (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Cho, Jaehyun (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Park, Cheolmin (Department of Energy Science, Sungkyunkwan University) ;
  • Kim, Hyunhoo (Display Engineering School, Doowon Technical University) ;
  • Yi, Junsin (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University)
  • Published : 2016.02.17
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Abstract

박막 태양전지의 광 산란을 위한 텍스쳐 된 표면은 반사 손실을 감소시키기 위한 것이다. 그러나, 투명한 전극(TCO)의 텍스쳐 된 표면은 빛의 가용성을 제한하고, 장파장 영역에서 haze의 수치를 감소시키며, 전반사의 증가는 박막 태양전지의 Jsc를 감소시킨다. 본 논문에서는 높은 빛의 가용성을 위하여 HF+HCl 혼합용액을 이용하여 표면의 질을 향상시키기 위한 해결책을 제시했다. 같은 HF+HCl 혼합용액을 사용하여, 540 nm의 파장에서 약 85 %의 높은 haze 수치를 달성했으며, ZnO:Al 막의 증착 후에 식각된 유리 기판과 함께 비교했을 때, 2.3%의 haze 수치의 감소를 얻었다. 또, 깊은 습식 식각에 의하여 Haze 수치를 증가시키기 위한 메커니즘 간단히 설명했다. 텍스쳐 된 유리 기판의 haze 수치의 측면에서 광학 이득은 일반적인 Asahi FTO 유리(${\lambda}=540nm$의 13.5%)에 비해 상당히 높다. 이러한 높은 haze 수치의 AZO 박막은 박막 태양전지의 Jsc를 개선하는데 이용할 수 있다.

Keywords