전력전자학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIPE Conference)

전력전자학회 (The Korean Institute of Power Electronics)
권호 표지

15kW 급 RPG용 부하병렬 공진형 컨버터의 공진네트워크 설계

Design of Resonant Network of Parallel Loaded Resonant Converter for 15kW RPG System

  • 채훈규 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 성원용 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 구근완 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과) ;
  • 이병국 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학과)
  • Chae, Hun-Gyu (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Sung, Won-Yong (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Koo, Keun Wan (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, Byoung Kuk (Department of Electrical and Computer Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2016.07.05
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초록

본 논문에서는 급변하는 특징을 갖는 부하를 제어하기 위한 병렬부하 공진컨버터의 공진 네트워크를 설계한다. RPG(Remote Plasma Generator)는 플라스마를 생성하기 위한 장치로써 플라스마 발생 전, 후의 부하 조건이 급격하게 달라지는 특징을 갖는다. 이때 플라스마를 발생시키기 위해서는 고전압이 필요하며, 플라스마를 유지하기 위해서는 높은 스위칭 주파수와 일정 크기의 정현파 전류가 필요하다. 이러한 특성을 고려하여 공진 네트워크를 설계하고, 시뮬레이션을 통해 과정의 타당성을 입증한다.

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