한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

자기조립단분자막을 이용한 구리 재배선 상의 Overburden 방지

Preventing Overburden on Cu Redistribution Layers with Self-Assembled Monolayers

  • 이진현 (한양대학교 재료화학공학과) ;
  • 박기문 (한양대학교 첨단소재공학과) ;
  • 유봉영 (한양대학교 재료화학공학과)
  • 발행 : 2018.06.13
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