Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2018.06a
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- Pages.35-35
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- 2018
Hardness of AlTiN/TiAlN multilayer coatings deposited by Cathodic Vacuum Arc Deposition
음극 진공 아크 증착법에 의한 AlTiN/TiAlN 다층막의 경도
Abstract
물리적 증착법에 의해 제조되는 초고경도 박막은 나노다층과 나노복합 구조가 대표적이며, 본 연구에서는 음극 아크 증착법으로 TiAlN과 AlTiiN 층 조합을 이용하여 나노다층구조를 포함하는 다층막 시편을 제작하였다. 초격자 두께 주기 12.1 ~ 15.6 nm에서 35 ~ 55 GPa의 경도값을 가졌으며, 절삭공구 코팅분야에 적용할 예정이다.
Keywords